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インラインガスフィルター製品COMPANY

TK-FUJIKIN社製の超高清浄インラインガスフィルターは、半導体製造プロセス
向けに開発された製品です。

・高い除粒子高価および、ろ過精度      粒子捕捉率  :99.9999999%
・耐圧性および、耐腐食性          ろ過精度   :0.0025μm
・優れたガス置換特性            ハウジング材質:316Lステンレススチール
                             :ハステロイC-22
                      内面仕上げ  :≦Ra 5μinch(≒0.127μm)

<特長>
・100% Heリーク試験済(1.0×10-9 atm・cc/sec)
・100% パーティクル試験済(0.0025μm以上未検出)
・クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包しております。


ステンレス製 ガスフィルター(エレメント:金属焼結タイプ)

ステンレス製 ガスフィルター(エレメント:金属焼結タイプ) 価格はこちら

SS-Aシリーズ

・流量範囲 15〜300SLPM(9LRV)
・オール316Lステンレススチール製(シングル/ダブルメルト)
・高温、高圧用途にもご使用できます。
 最高入口圧力:21MPa@20℃ / 最大使用温度:460℃(不活性ガス)

SS-Cシリーズ

・流量範囲 1,500SLPM(9LRV)
・オール316Lステンレススチール製
・高温用途にもご使用できます。
 最高入口圧力:0.98MPa@20℃ / 最大使用温度:460℃(不活性ガス)

SS-Hシリーズ

・流量範囲 100〜600SLPM(9LRV)
・オール316Lステンレススチール製(シングル/ダブルメルト)
・高温用途にもご使用できます。
 最高入口圧力:12MPa@20℃ / 最大使用温度:460℃(不活性ガス)

MFSシリーズ

・流量範囲 40SLPM(9LRV)
・オール316Lステンレススチール製
・高温、高圧用途にもご使用できます。
・最大使用温度:460℃(不活性ガス)

PTFE ガスフィルター(エレメント:PTFE膜タイプ)

>PTFE ガスフィルター(エレメント:PTFE膜タイプ) 価格はこちら
PTFEエレメントは、耐腐食性および高純度の半導体プロセスガスに対し、優れた適合性を有しております。

ST-Aシリーズ

・流量範囲 50〜150SLPM(9LRV)
・エレメント材質:PTFE製
・最高入口圧力:0.98MPa@20℃ / 最大使用温度:120℃(不活性ガス)
 

ST-Bシリーズ

・流量範囲 〜600SLPM(9LRV)
・エレメント材質:PTFE製
・最高入口圧力:0.98MPa@20℃ / 最大使用温度:120℃(不活性ガス)
 

ST-Cシリーズ

・流量範囲 1,500〜7,500SLPM(9LRV)
・エレメント材質:PTFE製
・最高入口圧力:0.98MPa@20℃ / 最大使用温度:100℃(不活性ガス)
 

ST-H MAXシリーズ

・流量範囲 150〜300SLPM(9LRV)
・エレメント材質:PTFE製
・最高入口圧力:0.98MPa@20℃ / 最大使用温度:120℃(不活性ガス)
 

バナースペース

バリューインパクト有限会社

本社
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