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バリューインパクト有限会社は『つなぐ』に価値をご提案します。

レギュレーター製品COMPANY

TK-FUJIKIN社製の超純度ガス用レギュレーターは、半導体製造プロセス向けに
開発された製品です。

<特長>
・100% Heリーク試験済(1.0×10-9 atm・cc/sec)
・100% DI WATER(脱イオン化水)洗浄品
・クリーンルームにて製造・試験・梱包しております。

一段減圧 中流量タイプ

RG1シリーズ

・最大入口定格圧力:3,500psig, 600psig
・材質      :本体 316LSS(BA,EP)、シート PCTFE
          ダイアフラム ハステロイC-22
・Cv値      :0.06(3,500psig),0.2(600psig)

RG2シリーズ

・最大入口定格圧力:600psig, 1,000psig, 3,500psig
・材質      :本体 316LSS(BA,EP)、シート PI,PCTFE
          ダイアフラム ハステロイC-22
・Cv値      :0.5

PRG1シリーズ(タイドダイアフラム)

・最大入口定格圧力:600psig, 1,000psig, 3,500psig
・材質      :本体 316LSS, ハステロイC-22、シート PCTFE
          ダイアフラム ハステロイC-22
・Cv値      :0.06(3,500psig), 0.15(600psig, 1,000psig)

PRG2シリーズ(タイドダイアフラム)

・最大入口定格圧力:600psig, 1,000psig, 3,500psig
・材質      :本体 316LSS、シート PI, PCTFE
          ダイアフラム ハステロイC-22
・Cv値      :0.5

一段減圧 大流量タイプ

HFRGシリーズ

・最大入口定格圧力:200psig, 500psig
・材質      :本体 316LSS、シート FKM、ダイアフラム PTFE
・Cv値      :0.85

HFRG2シリーズ

・最大入口定格圧力:150psig, 250psig
・材質      :本体 316LSS、シート PFA
          ダイアフラム ハステロイC-22
・Cv値      :1.6

HFRG3シリーズ

・最大入口定格圧力:500psig
・材質      :本体 316LSS、シート PFA
          ダイアフラム ハステロイC-22
・Cv値      :1.0

HFRG4シリーズ

・最大入口定格圧力:300psig
・材質      :本体 316LSS、シート FKM、ダイアフラム PTFE
・Cv値      :1/2"=2.0、3/4"=3.0、1"=5.0

AHFRGシリーズ

・最大入口定格圧力:300psig
・材質      :本体 316LSS、シート PTFE、ダイアフラム 316LSS
・Cv値      :8.0

一段減圧 マイクロタイプ

BRG3シリーズ

・最大入口定格圧力:150psig
・材質      :本体 316LSS、シート PCTFE
          ダイアフラム ハステロイC-22
・Cv値      :0.06
 

MRG3シリーズ

・最大入口定格圧力:150psig
・材質      :本体 316LSS、シート PCTFE
          ダイアフラム ハステロイC-22
・Cv値      :0.06
 

MRG4シリーズ

・最大入口定格圧力:150psig
・材質      :本体 316LSS、シート PCTFE
          ダイアフラム ハステロイC-22
・Cv値      :0.08
 

MRG5シリーズ

・最大入口定格圧力:150psig
・材質      :本体 316LSS、シート PCTFE
          ダイアフラム ハステロイC-22
・Cv値      :0.08

二段減圧タイプ

TRGシリーズ

・最大入口定格圧力:3,500psig
・材質      :本体 316LSS(BA,EP)、シート PCTFE
          ダイアフラム ハステロイC-22
・Cv値      :0.06  

バナースペース

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