ガスディフューザー
メタルシリーズ
ロードロックチャンバー内をパージする際に粒子の混入や巻き上げを防ぐ
- 超高純度ガスディフューザー
- 316L ステンレスエレメント
- 高温用途
- コンパクトなサイズと衝撃や振動に対する高い信頼性
特徴
- 60から300SLPMの広範囲な流量
- 高純度半導体プロセスガスとの優れた互換性
- 5Ra 電解研磨表面により内部汚染を防止
- 半導体プロセス基準を満たすために純水洗浄後に高温窒素で焼鈍
- 3nmのフィルタリング機能により、圧力降下を最小限に抑えながら高い流量効率を維持
- 100％ヘリウムリークテスト
サイズ |
1/4" |
3/8" |
1/2" |
継手 |
VM MFS male type |
NW25×8VM NW25 flange type |
仕様 | ||
| ろ過精度 | ≥ 0.0025μm | |
粒子捕捉率 | 99.9999999% 以上 0.0025μm までのすべての粒子を除去 | |
定格流量＠10⁹ | 70SLPM (A50) | |
60SLPM (B40) | ||
80SLPM (B70) | ||
90SLPM (B74) | ||
300SLPM (C80) | ||
100SLPM (NW25X8VM) | ||
材質 | フィルターエレメント | 316L ステンレス鋼 |
ハウジング | 316L ステンレス鋼/ 316L VAR ステンレス鋼 | |
使用条件 | 最高入口圧力 | 1MPa |
最高使用温度 | 460°C | |
内面仕上げ | ≤ Ra 10μin(BA) / ≤ Ra 5μin(EP) | |
 | ガスディフューザー バリューインパクトカタログ (511KB) |
| ガスディフューザー 仕様カタログ (391KB) |
